TY系列复合分子泵由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵的抽速大、压缩比高;牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点。对被抽气体无选择性、无记忆性效因,对分子量大的气体有很高的压缩比,因此不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于光伏、照明、宇航、半导体、能源、军工、激光、家电、材料、汽车等真空技术的各个领域。
技术参数:
型号
TYFB-600复合分子泵
TYFB-1200复合分子泵
TYFB-1600复合分子泵
高真空法兰(mm)
150 CF
160 ISO-K
200 CF
200 ISO-K
250 CF
250 ISO-K
前级管道法兰(mm)
40 KF
50 KF
抽气速(L/S)
600
1200
1600
压缩比
N2
>109
H2
>8X103
>1X104
极限压强(Pa)帕
<8×10-8
<5×10-7
电机转数(n/min)
24000
21000
启动时间(min)
<5
<6
建议采用的前级泵
4-8 L/S
8-15 L/S
15 L/S
冷却方式
水冷(风冷)
风冷泵环境温度
≤25℃
水冷冷却水温度
≤20℃
水冷冷却水流量(L/min)
1
泵体烘烤温度
<120℃
加热器功率(w)
<550
<600
<700
加热器输入电压(v)
AC220
安装方向
垂直±5°
泵重量(kg)
≈29
≈34
≈39
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