FJ系列分子泵机组是根据真空知识原理，由各性能复合分子泵或涡轮分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源，控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。具有启动时间快、真空度高、安装方便，操作简单，易于联接，性能优异，运行可靠、清洁环保、噪音低等优点。广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
FJ系列分子真空泵机组
技术参数：
型号
FJ-110
FJ-620
FJ-620N
FJ-620C
FJ-700
进气口法兰
DN100LF
DN100CF
DN160LF
DN160CF
抽气速率L/S（对空气）
110
600
700
压缩比 N2
H2
109
6×103
极限压强（Pa）
6×10-6
6×10-7
6×10-8
输入电压频率（V/Hz）
220±20/50±1
380±20/50±1
冷却水压力（kg/cm-2）
0.5～1
前级泵型号
RVP-6
环境温度
4～40
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