高纯氩气一般指纯度高于99.999%的氩气，除水分外，主要还含有氢、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳6种杂质。
高频氩放电气相色谱仪选用高纯氩气分析仪器，分析方法被纳入GB/T4842-2006高纯氩气的国家标准中。该仪器是根据气相色谱分析的工作原理，运用GC-LTH型高纯氩气色谱分析仪对空分设备提取氩中的杂质气体-H2、O2、N2、CH4、CO、CO2进行全分析，以氩气为载气，配备氩离子化（AID）检测器，采用带吹扫保护气路的六通或十通阀。上述部分与纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体及解决方案。
高频氩放电气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。