一、技术参数：
1、处理气量： 5~500Nm3/h
2、纯化后氩气纯度
99.9995%
纯氩技术要求应符合下表的规定符合：GB/T4842-2006
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项目
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原料气指标
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纯氩指标
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纯化后指标
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氩气纯度(体积分数)/10-2
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99.99%
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99.999%
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99.9995%
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氢气含量(体积分数)
≤ ppm
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5
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1.0
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0.5
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氧气含量（体积分数）≤
ppm
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10
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1.5
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1.0
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氮含量（体积分数）≤
ppm
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50
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4
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2
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烃类含量（体积分数）≤
ppm
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20
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1
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0.5
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水份含量（体积分数）≤
ppm
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15
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3
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2.0
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装置特点：
1. 净化则采用了世界先进的净化材料。其特点有吸附深度好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上。
2. 并安装了小于0.1μ的金属过滤器。保证了气体粉末的要求。
本装置的阀门采用国内外专业阀门公司的优质产品，保证了产品的高纯度无渗透及安全可靠性。
4. 设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。
5. 设备中全部选用我公司跟踪国际先进水平而研制的净化材料，具有净化深度好、安全可靠、可反复再生的特点。
6. 设备中的主要控制仪表全部采用国内外先进产品。
7. 接头采用先进的高纯接头,保证了无渗透。
8. 外观设计采用国际流行颜色及形式,使产品更美观。
高纯氩气主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。
欢迎新老用户选择我公司产品：氩气净化机，氩气净化器，高纯氩气净化，高纯氩气净化设备，高纯氩气纯化设备，高纯氩气纯化装置，YAC系列氩气净化设备，全自动氩气纯化设备，大型氩气净化设备，硅材料行业用氩气净化设备，硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气站专用氩气净化设备，气站专用氩气纯化器，气站用高纯氩设备,单晶硅行业用氩气除氧、干燥设备，多晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,高纯氩气提纯设备，钨化氩气提纯机,多晶硅氩气过滤器，氩气纯化装置价格，氩气纯化装置厂家，