品牌：Alpha Plasma
产地：德国
型号：Q150/Q235/Q240/Q310
简介：
德国原装进口Q系列微波等离子处理系统，用于（高剂量注入后）光刻胶的去除，Alpha微波等离子刻蚀机，用于湿法或干法刻蚀工艺前后，Alpha微波等离子区胶机用于SU-8和其它环氧基光胶的去除，Alpha微波等离子去胶机用于微电子机械系统加工中间层去除，Alpha Q150微波等离子去胶机用于去除化学残余物，Alpha微波等离子去胶机用于清除浮渣工艺。
应用领域：
? 半导体硅片生产中光刻胶或SU-8胶工艺
? 平板显示生产中等离子体预处理
? 太阳能电池生产中边缘绝缘和制绒
? 先进晶片（芯片）装配中的衬底清洁和预处理
优势：
? 预处理可避免光刻胶在高剂量离子注入后破裂
? 硬胶的轻柔去除
? 温度为230摄氏度
? Slow temperature ramp – up温升慢
? 高密度激发态原子团
? 工艺时间短
? 的自偏压，低损伤
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Q150
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Q235
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Q240
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样片尺寸
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5"
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6"
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4", 5", 6", 8"
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腔室尺寸（mm）
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φ150 x 260depth
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φ235 x 260depth
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φ240x 460depth
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处理能力
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25x 5"
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25x 6"
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50x 6", 8"
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工艺压力(Pascal)
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1-100
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1-100
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1-100
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频率(GHz)
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2.45
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2.45
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2.45
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功率(W)
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100-600
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100-600
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100-1200
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控制方式
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全自动运行
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全自动运行
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全自动运行
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外形尺寸
（WxHxD, mm）
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500x370x550
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590x460x550
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760x775x775
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主机重量（kg）
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40
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70
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120
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泵重量（kg）
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32
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32
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83
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总重量（kg）
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72
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102
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203
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总功率 (kW)
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2.2
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2.6
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4.2
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