ERT微型测头传感器技术参数

●超小型光谱共焦位移传感器，外观直径为4mm、6mm、8mm

●非常适合用于安装空间有限的场合

●可用于对小孔内径进行测量

●小至6mm的外径，但其可以非常方便地集成于在线设备上

●亚微米测量精度

全新技术，区别于传统三角测距法

    由东莞蓝海精密提供的ERT光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域

     产品的独特性能

     1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；

     2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；

     3. 超高精度测量：小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；

     4. 从100μm-42 mm的可选量程；

     5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；

    6. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，可测倾角87度；

    7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，小可测量厚度为400 nm；

   8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。