光谱共焦传感器的功能介绍

                                           

     由东莞蓝海精密提供的ERT光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域

      产品的独特性能

     1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；

      2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；

     3. 超高精度测量：最小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；

     4. 从100μm-42 mm的可选量程；

     5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；

      6. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差等问题，可测倾角87度；

      7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，最小可测量厚度为400 nm；

      8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

传感器测头型号

(1)表中给出的数值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；
(2)可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的可测倾角可达87。：
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程远端光斑更大，从中心分别到近端远端差异10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量，是相对单位量，此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时，选择低光度收集率的型号，为了避免饱和，测量扩散或低反射的样品时，选择具有高光度收集率型号，以避免一个非常低的信号与噪声比例；
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心，以的速率进行测量，内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量，并对应交付每个传感器的校准证书；
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准，由所述传感器测量距离时，在整个测量范围内的误差。使用以下设置：自动适应LED模式，的速度，倾角为0。，内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量，并指定每个传感器的校准证书交付；
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性，表中所给的值是典型的；
(8)在的速度下，测量范围的中心，测量的典型值，不加平均。折射率=1.5个样本（测量空气间隙应除以1 5的厚度时）；
(9)可测半径为测头直径加工作距离。
注：以上参数如有变化，恕不另行通知。