、技术参数
行程范围：X轴------1000 mm
          Y轴------1200 mm
            Z轴------800 mm
         
结构型式：活动桥式
传动方式：柔性齿同步带+预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高精度花岗岩平台

使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m
          温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min

整机尺寸：2.3 m X 1.8 m X 3.0 m
机台承重：1500 kg
整机重量：4500 kg

探针测量系统：
1．控制软件：SEREIN DMIS V2.0 （ 美国）
2．操作方式：计算机自动控制＋微电脑操纵盒（RENESHAW MCU1）
3．测量不确定度（E）：（4+L/300）