高纯氮气的用途
高纯氮气的用途
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。
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高纯氮气在泄露后应该做好的应急措施有哪些?
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迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,高纯氮气,并进行隔离,南阳高纯氮气纯度,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚,遇点火源着火炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理,南阳哪家高纯氮气纯度高,修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。
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