高纯氮气的用途
高纯氮气的用途
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，高纯氮气，液体扩散源的携带气，南阳高纯氮气国标，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。
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高纯氮气泄露应采取的措施
高纯氮气泄露应采取的措施：
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚，遇点火源着火易爆。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮，感到呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
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