氦气是一种无色、无味、无臭，常温下为气态的惰性气体。说到这里我们可能还不了解什么叫惰性气体，所谓惰性，英文原意是“高贵”，高纯氦气纯度，英文中惰性气体为“inert gas”或“noble gas”，“inert”意为“惰性的”，哪里有卖高纯氦气，而“noble”意为“高贵的” ，这些元素之所以被以此相称，是与它们孤傲、排他的特性有关，通常条件下氦气不与其它元素和化合物产生化学反应，因其以“懒惰”而闻名，所以我们称为惰性气体。

什么是高纯气体

高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，哪家高纯氦气纯度高，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。

高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。

高纯气体充装的抽空操作

①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，登封高纯氦气，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;

②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。

③真空表指示值<-0.1MPa

④抽空5~15分钟后。

⑤关闭抽空总阀。

⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。

⑦关闭真空泵，抽空结束。