什么是高纯气体
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，超高纯氦气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。
高纯气体充装的抽空操作
①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;
②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。
③真空表指示值<-0.1MPa
④抽空5~15分钟后。
⑤关闭抽空总阀。
⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。
⑦关闭真空泵，抽空结束。
气体
气体有实际气体和理想气体之分。理想气体被假设为气体分子之间没有相互作用力，气体分子自身没有体积，当实际气体压力不大，分子之间的平均距离很大，专业生产高纯氦气的厂家，气体分子本身的体积可以忽略不计，温度又不低，方城高纯氦气，导致分子的平均动能较大，分子之间的吸引力相比之下可以忽略不计，实际气体的行为就十分接近理想气体的行为，可当作理想气体来处理。
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