高纯气体真空镀膜中的应用

随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，象半导体、电子、药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。

在真空离子镀膜中，高纯氧气纯度，在真空条件下使高纯气体（氧、氮、氩、炔）放电实现镀膜。即金属在特定条件下，与高纯气体综合作用形成离子体。在高速作用下，撞击加工工件表面。离子体牢牢粘附在加工工件的表面形成膜层。

氧气厂里的高纯氧气是怎么弄出来的

制氧厂一般用的是低温分离空气法来制取氧气。

主要分为空气增压系统、空气净化系统、换热系统、精馏系统以及后备系统几大块。

其原理是：利用带压介质（一般是空气，也有用氮气的）膨胀制冷，内黄高纯氧气，产生冷量，经节流换热，将空气液化为液体，供应高纯氧气的厂家，在精馏系统中形成上升蒸汽和回流液体，建立精馏工况，然后利用液空中氧气沸点（-183℃）和氮气沸点（-196℃）不同，上升蒸汽与回流液体传质传热，上升蒸汽中的氧被冷却到回流液中，回流液中的氮被蒸发到上升蒸汽中，经过多次精馏后，回流液体中的含氧达到99.6%甚至更高、上升蒸汽中氮含量达到99.999%，就会得到高纯氮气以及液态氧气。液态氧气经过板式换热汽化就变成了所需氧气。