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企业新闻
天津菲林斯公司推出超精密机床三坐标激光干涉仪
发布日期:2009-07-31

东欧产机床和坐标测量机激光测量系统(激光干涉仪)

测量:位置、速度、加速度、小角度、直线度、垂直度、平行度、平整度

天津菲林斯光电仪器贸易有限公司 (Tel: Email: contact@optikschina.com)

 

 一.             激光干涉仪测量位置、速度和加速度

我们提供的标准激光测量系统(激光干涉仪)专门为测量位置、速度和加速度而设计,典型的应用是CNC机床定位精度的标定。它能评估机床上移动部件的期望定位和实际定位的差别,整个测量过程完全由计算机程序自动控制并且满足国际标准(ISO 230-2, VDI/DGQ 2617, 3441, NMTBA)。
 
软件补偿机床定位误差
测量获得的定位误差以校正数据在线地输入机床控制系统,瞬间即可增进机床的定位精度,我们提供的这种软件模块适合多种控制系统:西门子、HEIDENHEIN海德汉、DYNAPATH、SELCA塞尔卡、YASNAC安川、FANUC发那科、ACRAMATIC

技术参数
测量范围
0-40m
分辨率
1.25nm(lambda/512)
真空中精度
(10^-7)x测量长度+/-分辨率+/-0.6nm
配备偿器的精度
1um/m (0-40)

 

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