晶圆半导体检查显微镜 专业品质 价格合理 欢迎咨询苏州汇光，下面着重给大家介绍一下晶圆半导体检查显微镜，它是6寸工作平台金相显微镜，这种晶圆半导体检查显微镜MX6R各项操作根据人机工程学设计，减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计，可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能，可根据实际应用，进行功能选择。

选择晶圆半导体检查显微镜mx系列有什么好处，详情如下：

1、宽视场铰链式三目观察筒

正像铰链三目观察筒，所成像的方位与物体实际方向相同，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于观察与操作.

2、大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计，行程158×158mm，可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测，也可用于小尺寸样品的阵列检测。

3、高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

4、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。

其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。

半导体检查显微镜MX6R技术规格

型号MX6RMX6RT

可选择的观察方法明场/暗场/偏振光/DIC明场/暗场/偏振光/DIC/透射光

光学系统无限远色差校正光学系统

目镜PL10X/22平场高眼点目镜

物镜LMPL-BD无限远长工作距明暗场金相物镜

观察筒正像观察筒，25°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或0:100

转换器5孔内倾式明暗场转换器，带DIC插槽

5孔内倾式明暗场转换器

载物台6”三层机械移动平台，行程158x 158mm，玻璃工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动6”三层机械移动平台，反射行程158x 158mm，透射行程：100x100mm，玻璃工作台，右手位X、Y移动手轮，带离合器手柄，可快速移动

显微镜镜体粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，单路电源输出粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器，双路电源输出

反射照明器系统带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆，12V100W卤素灯，光强连续可调

透射照明系统/单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N..A.0.5聚光镜，带可变孔径光阑

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