分划板的制造方法包括母板制作工艺和照相复制工艺,母板制作工艺包括以下步骤:
根据客户的零件设计图纸绘制计算机CAD图纸的文件;准备母板基片;将母板基片放入显微镜对准系统;打开激光绘图仪器;设置光源强度。照相复制工艺包括以下步骤:用清洁剂清洁母板和光学零件;配制铵液;制作感光胶;光学零件放在精密夹具上并放入离心机内;烘烤玻璃零件;真空吸附模板与光学零件均匀粘合和采用动态曝光加工分划板光学零件;光学零件与母板精密复合,然后进行曝光;将光学零件放入显影液中后着色,清洗干净。
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