佛山单晶炉
随着国际单晶硅市场的快速发展，世界上半导体材料的需求量迅猛增加，为紧紧围绕单晶硅产业提供先进的技术设备支持，扩大半导体材料基地集科研、生产、加工、服务一体化的单晶硅产业链条。公司定型产品有CZ-70、CZ-80、CZ-110系列。其突出技术特点是采用了PLC自动控制系统、自主创新的热系统、磁性流体密封、功率因数补偿、谐波抑制等技术，实现热场的恒温控制，满足了稳定、连续、高效、自动控制（N型<100>、<111>、P型<100>、<111>）Φ4″～Φ10″无位错低氧碳单晶的要求。使产品具有高效、节能、环保、自动化等优点。产品已达到国内水平，其中PLC自控系统和谐波抑制系统均达到国际先进水平.
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