利用提高镀膜温度的方法来提高薄膜的吸附能力。在真空镀膜技术中可以通过将基底温度加热到300℃来提高MgF:膜的稳定性。众所周知，利用TiCI。和Si(OCH3).蒸气在加热到200-250℃玻瑞表面上分解生成的TiO:和Si 0,薄膜具有特别高的牢固强度和化学稳定性。

薄膜热处理具有很大的实际意义，例如，在350℃下加热处理的薄膜强度和耐水蒸气的破坏能力比在100-120℃下加热的薄膜高5-8倍。加热温度的影响对真空被膜也是如此。例如，MgF,镀膜后加热到270-400℃可以大大提高其化学往定性。

获得薄膜牢固性的主要因素之一是被镀零件表面的清洁，通常在玻璃表面上存在某种表面层，该表面层是由于玻璃与湿空气、清擦溶液以及在对中心磨边过程中产生的，这种表面层具有一定的孔凉度，因此，它有可能吸附着室内经常存在的油和漆燕气，膜层内存在这些物质会阻碍薄膜与玻璃表面的化学结合。此外，新抛光表面在清洗上胶火漆时可能被高沸点的甲苯或其他溶荆所污染，这种高沸点溶剂不易从污染层孔晾中除掉，因而在镀膜时会降低薄膜与镀件的结合能力，以致形成棍浊而散射的薄膜。所以必须仔细地将玻瑞表面进行脱脂。在真空镀膜中最为有效的方法是离子表击，在离子轰击过程中可以将艘件表面所吸附的水气和其他物质释放出来。此外，镀件的预先加热对清除玻瑞表面与薄膜的中间层起着决定性作用，这对不能进行离子轰击的化学镀膜是十分有益的。

对薄膜高温热处理和镀件表面加热以及对薄膜孔隙用各种化合物密闭的方法进行了研究并制订了干涉膜的保护方法，该方法是将用烃氛基有机物水解所获得的TiO:和SiO2膜在溶化的蜂蜡中处理。这个方法可以用于在气态中或硅有机物高温分解中所获得的氧化膜。在工业中该法目前用于单层，双层和三层增透膜的保护，其膜层为钦、桔、拾和硅的氧化物。

经常封闭的是硅酸乙醋乙醇溶液获得的二氧化硅膜，该膜通常在膜系的最外一层。要取得具有成效的保护性能，就必需严格遵照硅酸乙醋的一定比例成分、浓度和时效时间。有人认为，采用10-12%的硅酸乙酷溶液可以得到有效的保护性能，在这种情况下所获得的孔隙尺寸足以保证为蜡或其他氧化物分子所渗透。