6
欢迎光临哈尔滨特博科技有限公司 我公司主营:“纳米粉”“超细粉体材料”“溅射靶材”谢谢惠顾!
搜索网站中其它产品:

 
您现在的位置:哈尔滨特博科技有限公司>供应信息
哈尔滨特博科技有限公司
 
客户留言 联系我们 收藏此网站
晶圆全检仪

价        格:面议   
有 效 期: 长期有效
所 在 地: 黑龙江省哈尔滨市
配送信息:
供应数量:不限
了解详情,请立即咨询!
 

   
      80  81  82  83  84  85  86  87  88  89  
该公司共有 89条同类信息       查看全部>>
详细说明

美国测量科技仪器公司生产的晶圆全检仪,适用于各种晶圆尺寸和材料的测量仪器。 
产品系列型号包括手动、半自动和全自动三种模式。能够测量包括Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料,强大的软件功能能够在几秒内测试晶圆的厚度、TTV、bow、warp和平整度,此外可以通过增加一个软件模块,去计算晶圆在工艺处理前后产生的应力。所有的计算都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。 

型号1:手动模式:

 

特点:快速、准确、可靠,可测量300mm(12”)晶圆的厚度、TTV、bow,测量是通过非接触的电容探针获得。晶圆承载台是特拂纶材料制成,可实现便利的无磨损的晶圆定位,定位时晶圆的移动通过顶针可的校准。测试结果通过高分辨率的液晶显示器显示。通过与计算机相连的RS-232接口方式可实现完全的计算机监测和控制,并可通过打印机输出。 
工艺参数设置很方便,Proforma300能让用户进行的非接触测量,测量快速、准确、重复性高。 
探针与晶圆间探测距离可根据需要调节。 

型号二:半自动测量 

 

Proforma 200SA/300SA可实现整个晶圆的快速、全表面扫描,晶圆通过手动方式装载在自动承载台上,使用时按下启动键就可以进行自动测量,可进行厚度、TTV、bow、warp和平整度的测量。 
Proforma 200SA/300SA系列是晶圆减薄工序中最理想的工艺开发和工艺监测工具,通过便捷的windows界面执行复杂的数据分析并提供数据列表和三维图谱。 
能够测量工艺中像切割、研磨、刻蚀、抛光和制版等的晶圆,提供快速、准确的工艺信息。 
数据报告、格式的多样化和完全的网络功能能使用户在任何步骤了解工艺信息 
每个测量参数和系统参数都可以通过友好的软件界面进行选择,参数也可以根据需要进行修改和重新计算,而不需要重新对晶圆进行扫描。 
除了强大的测量功能外,用户可选择增添一个软件,该软件可用于量测晶圆的应力。根据Stoney方程,可以计算薄膜沉积或工艺处理后,所引入到晶圆中的应力。 
为了离线、远程数据分析和机器的设置,我们可提供强大的数据工具软件包,它基于windows系统可通过网络观测数据、上传测量菜单并对数据进行计算。 

型号三:全自动测量 

 

AutoScan 200/300是全自动测量系统,适用于生产型的应用,可测量厚度、TTV、bow、warp和平整度和电阻率的测量,自动扫描生成三维图像,直观清晰。 
两个cassette同时在线,一个用于输入晶圆,一个用于扫描后接收晶圆,测量速度快,每小时可测100片晶圆,适用于3”~12”尺寸的晶圆。 
自动取放片系统配备有cassette激光扫描,这种非接触式的探测模式,可确保取放片的准确性。设备的预对准功能可以探测晶圆的notch角和判断晶圆是否放置平整,确保安全准确的测量。 
为了维护和升级的便利,该系列产品在设计上采用模块化的方式,可以快速容易的安装和更换组件,保证的无故障运行时间。 
此外,该系统还可以额外的配备光学检测识别模块,用于读取所有数字代码和条形码,以区别检测中不同晶圆的类别。 
做为选件的晶圆电阻率测量模块,可进行非接触的体电阻率测量。 
为了满足高洁净度无尘室的使用,改系统可配备尘埃过滤器,万级粗过滤、十级精细过滤和过滤器变速风机,该过滤模块对尺度为0.12微米的颗粒的过滤效率可达99.999%

 
推荐浏览
硅片加工
硅片加工
面议 /公斤
GaAs wafer砷化镓衬底晶棒
GaAs wafer砷化镓衬底晶棒
面议 /箱
英特格系列
英特格系列
面议 /箱
 

免责声明:本商铺所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责,一比多公司对此不承担任何保证责任。

友情提醒:为保障您的利益,降低您的风险,建议优先选择商机宝付费会员的产品和服务。


哈尔滨特博科技有限公司   地址:道里区河鼓街副3号   
联系人:李洪岩   电话:0451-51752136   手机:13613627346   传真:0451-51752136
技术支持:一比多  |  免责声明 | 隐私声明
增值电信业务经营许可证:沪B2-20070060     网站Icp备案号:沪ICP备05000175号
<%---站点编号 ----%> <%---页面编号 ----%> <%---页面参数1 ----%> <%---页面参数2----%> <%---页面参数3 ----%>