特征
氧化锆式氧浓度计SW/LD-300采用东丽独有的氧化锆传感器,最适合用于真空蒸镀、直流溅镀、光辉性热处理等,主要应用于密闭系统处理炉内的环境处理中的氧气浓度管理、控制等。检测器为传感器分离型结构,能够设置在靠近测定点的场所,并且可选择安装方式,以便于布局。
可进行密闭腔室、循环系统等闭环采样系统的氧气分压(减压状态)的监控及惰性气体置换中的氧气浓度测定(接近大气压的加压状态)。
主要规格
测量原理 |
氧化锆浓淡电池式 |
形状 |
传感器:直插型*1/显示器:便携式或面板安装型 |
显示方式 |
4位数字显示(浓度显示)
柱状图显示(atm显示) |
量程 |
0-1/10/100/1000ppm/1/10/100vol%O2 10-20-10-0atm |
重复性 |
±0.5%全量程以内(0-1/10/100%量程)
±1%全量程以内(0-10/100/1000ppm量程)
(0-10ppm量程、atm量程不在保证范围内) |
采样方式 |
扩散方式 |
样本气体温度 |
0~100℃ |
气体采样条件 |
取决于传感器 *1
关于成分:应不含可燃成分、卤素、二氧化硅、腐蚀成分及水滴。
用于主要成分为氦气的气体时,请另行协商。 |
对比气体 |
大气 |
记录仪输出 |
外部输出:DC0~10V DC4~20mA |
报警输出 |
上上、上、下、下下限警报 |
使用环境温度 |
0~40℃ |
预热时间 |
约20分钟 |
尺寸 |
210W×134H×185Dmm(不含传感器) |
重量 |
约4kg |
面板裁切尺寸 |
225W×135H |
使用电源 |
AC100V 50/60Hz |
消耗电力 |
300W以下 |
规格可能会因产品改良而发生变更。
*1 支持用于真空环境的NW法兰(16、25、40)或螺纹拧入式(3/8R)传感器。请根据使用条件选择
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