EWave 双极脉冲直流电系列

Advanced Energy 的 EWave 双极脉冲直流电源改善了表面均匀性，减少了DDPF工艺流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 应用的镀铜阶段之附加消耗，包括在生产环境和铜工艺开发中的晶圆电镀。EWave 电源提供多达三个通道，每个都有一个独立驱动的双极电源，能够生成、存储和运行多达15个由电流控制或由电压控制的波形。

优势:

●的填隙

●的表面均匀性

●降低了附加消耗

●强有力的监控

●减少了无尘室空间要求

●广泛的配置选择 

特点:

●通用波形形成

●多达三个独立控制的通道

●双极脉冲直流电输出，0-5kHz

● 高电流能力

●四终端控制和晶圆的电压测量

●主机接口

●紧凑型封装

规格：

●输入电压：180-230VAC 3Φ

●频率：47-63HZ

●输出功率：2400W，2000W

●尺寸：127×432×660mm（高×宽×长）

●重量：30KG

EWave 2400W