Superfinish和Microfinish都是表面超精密加工的含义，是两个不同的单词来表现的。
Superfinish是行业广泛应用的专业词汇。Microfinish是德国Thielenhaus(梯伦豪斯)多年前注册，意义等同于Superfinish的一个专业词汇。两个词在汉语中均被翻译成超精，没有含义上的区别。

这里我们以外圆面超精作为例子，简单介绍一下什么是超精:

Superfinish 以及Microfinish可以改善宏观和微观几何形体（粗糙度和圆度），提高工件的支承率并降低具体表面的负载。还可以去除变质层，使工件在应用中可以 使用到运行表面本身材料的全硬度和负载，通过这样，提高了在表面边缘区的有用压应力，同时改善了表面的负载并提高了工件的使用寿命。

Microfinish以及Superfinish方法是通过工件和刀具间叠加的加工运动作为标记。在磨削这个加工过程中形成的削屑将立刻被足够流动的清洗液清除。从而，使磨粒的磨削力在Superfinish方法中可以得到充分的应用。

在Microfinish方法中会使用不同的特定范围转速来加工。首先通过低转速快速有力磨削并去除软质层。第二步通过较高的转速达到最终所需的表面要求。在超精中，除了特定范围速度，加工结果还受到其它因素的影响: 压力和油石磨粒的大小。

粗 糙度峰顶和软质层可以在较短的时间被磨削掉。进而，达到形成一个完全均匀的表面并且通过表面接触达到改善形状的目的。改善的意思，根据不同单个元素的功能 含义也不总是相同的，比如: 曲轴轴颈的形状精度和用于保证表面润滑的粗糙度峰谷有直接关联。轴承则除了形状精度之外尽可能的达到较好的粗糙度。油泵齿轮上则是关于较好的粗糙度和表面 平行度