产品名称：准分子激光气体（Excimer Laser Gases) 其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm） 产品类型： ArF，KrF，XeCl，5%F2/He, Kr/Ne,F2/Kr/Ne,Ar/Ne,F2/Ar/Ne UN NO.： UN1956 钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L 阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14
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