l       100%氦泄露测试

l       高耐腐蚀性，使用哈氏合金隔膜

l       确保产生的微粒为最小化

l       最小的湿气、氧气和氢气分流

l       激光标记型号；材质经过工厂出厂测试

l       哈氏合金 C-22能根据要求定制外形

l       100%在洁净室中电解抛光

l      D.I.水处理, 100%在洁净室中装配，测试和包装

技术指标

尺寸	1/4"
CV值	0.1
孔径	2.3mm
工作压力（G.）	23.5MPa
工作温度	-10℃-80℃
内部泄漏标准（He）             测试压力≤1×10-2 Torr          测试时间≥30秒	≤ 1×10-10Pa·m3/s
外部泄漏标准（He）             测试压力≤1×10-2 Torr          测试时间≥1分钟	≤1×10-10Pa·m3/s
微粒检测（只用于EP）           压力：60-80psi 气体N2                样品流量：1CFM  0.1μm以上	计量不到

选    型	S	4	HDV	VM		P	S-4-HDV-VM-P
阀体材质	S						S:SUS316单级； D:SUS316双级;  4S:SUS304
尺    寸		4					4：1/4″
产    品			HDV				HDV
连    接				VM			VM:公VCR； VF:母VCR； SW:卡套； TW：对焊
选    项							可选X1
级    别						P	AP：AP级； 空白：BA级； P：EP级
其他材质	底座:PCTFE ; 隔膜:哈氏合金; 手柄:铝