l 固定开启压力14.7kPa
l 使用SUS316L材质，提高耐腐蚀性
l 全焊接设计提供可靠的系统流体的防护
l 降低噪音
l 在洁净室包装
尺 寸
1/4"
3/8"
CV 值
0.55
0.7
工作压力（G.）
20.6MPa
背压（G.）
工作温度
-10℃-80℃
外部泄漏标准（He）
1×10-10Pa·m3/s(测试压力≤1×10-2 Torr 测试时间≥1分钟)
微粒检测
（只用于EP）
计量不到
(压力：60-80PSI N2气体 样品流量：1CFM 0.1μm以上)
选 型
S
4
CHV1
VM
X1
P
S-8-CHV1-VM-X1-P
阀体材质
S：SUS316L单级;
D: SUD316L双级;
4：1/4"；
8：1/2"；
产 品
连 接
VM：公VCR；
选 项
X1选项
级 别
AP：AP级；
空白：BA级；
P：EP级
其他材质
密封圈: 氟橡胶/氯丁橡胶/KLAREZ; 弹簧: 哈氏合金
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