大宗特种气体供应系统(BSGS),此系统是在气柜基础上开发的,可以持续进行超大流量不间断供应的特气供应系统,主要适用于 Semiconductor,TFT,Sun Solar 等工厂特气的集中供气。
产品功能:包括了气柜所有的基本功能,并对联锁控制功能进行了扩展,气柜的切换和报警增加了温度状态设定值。
扩展功能:
吹扫阀箱:独立的吹扫阀箱包括真空发生器,可以安装在靠近气源较近的位置,以提高吹扫的功效并减少吹扫气体的消耗
吹扫阀箱:独立的吹扫阀箱包括真空发生器,可以安装在靠近气源较近的位置,以提高吹扫的功效并减少吹扫气体的消耗能量补充:调压阀前使用加热模块能量补充,以杜绝经减压膨胀后温度过底而引发的调压阀结露和气体在管路内液化的问题,以保障管路的畅通
两级调压:对一些高压气体进行两级调压,以减少压降过大,能量补充不足而引起的调压阀结露和流量受限问题
钢瓶加热:对一些以液态储存的钢瓶进行加热,根据出口压力进行加热的控制,保证出口压力的恒定,以达到即时高效的能量补充,从而全面满足气体供应峰值时的实际需求。