EMS850临界点干燥仪
EMS850临界点干燥仪设计用于与CO2使用，已通过一
系列脱水首先代替样本里任何水，经常在同样的液体
中，如也作为中间液体的丙酮。
临界点干燥的样本位于EMS850的压力舱。舱体进行预冷，
从而能容易将煤气罐中液态CO2充满到压力舱。舱体然后
加热到临界温度，后面的临界压力同时获得。CO2气体通
过针型阀来排放，从而避免样本变形。
EMS850配备有热电子的加热和冷却，以及+5℃冷却和
+35℃加热的温度控制。这保证临界点获得，避免
超过压力或温度，或需要依赖压力安全阀来控制在加热
周期内的压力。膛是垂直的，有顶加载，保证加干燥过
程中样本不会变成无覆盖。当最初填满膛时，用侧边
观察口来定位校准水位的半月板。
EMS850配有一个作为标准微下降针，流量计也就不再需要。
1.垂直膛顶部填充和底部排水
2.正常工作温度35℃ 压力1500psi
3.热电的帕尔贴冷却和加热
4.微调控制针阀压力减低
5.受照的膛带有侧观察窗和防护的Lexan盾
6.搅拌器系统用于增强的溶剂交换
7.用热断路器保护进行温度监测和控制
8.用安全阀进行压力监测和破裂片保护
9.聚碳酸酯防护屏
EMS850WM是一个压缩的台上用仪器，
设计用于临界点干燥一个完整的150mm
/6"晶圆。一个便捷的晶圆保持器允
许快速转换，且保证预干燥不会发生。
1.170mm直径膛-化晶圆/MEMS干燥
2.垂直膛带顶部加载和底部排水，
保证样本在干燥过程中不会变成无盖。
3.热电加热-的温度控制
4.微调控制针阀压力降低-控制
5.用热断路器保护来进行温度监控
6.用安全断流器进行压力监测超压
特 性
利用EMS4860再循环加热器/冷却器，EMS850WM已嵌入加热和水冷却功能。这确保
临界点准确获取，避免超压或超温，或需要依赖减压阀啦控制加热周期内的压力。
EMS850WM有一个垂直膛，允许样本顶部加载。一个观察口装在顶板用于样本观察。
样本交换机构易用且能保证样本在加载中保持在液体下。
样本处理
100mm 或150mm直径的晶圆放在一个特氟龙托盘中处理。含晶圆的托盘浸入到
丙酮中，从而去除样本的所有水分。脱水后，用晶圆传送装置将晶圆和支架转
到预冷的样品室。
临界点干燥过程结束时，深加工之前，晶圆会被用转移装置从样本室移除。
仪器参数：
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仪器尺寸
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450mm(W)x350mm(D)x175mm(H)
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重量
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12Kg
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样品腔尺寸
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32mm(Dia.)x47mm(H)(3000 psi压强检测)
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温度范围
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0-120°C
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热分离点
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40°C
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压力范围
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0-3000 psi
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压力释放
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1500 psi
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Rupture Disc
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1900 psi
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冷却/加热
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+5°C to +35°C
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两个开关阀
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入口/出口/制冷/针阀减压
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电源
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230V 50Hz
(电流3A包括泵)
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保养
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通过耐高压气管与CO2气缸直接相连（仪器内含高压气管）
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产品信息：
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货号
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产品名称
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规格
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91090
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EMS 850 Critical Point Dryer complete
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台
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除了EMS850型外，EMS还推出应用于电子行业晶圆干燥的EMS850WM(大样本临界点干燥仪)、应用于大样品干燥的（水平大腔室）EMS3000以及超大样品室的EMS3100等二氧化碳临界点干燥仪系列产品，客户可根据需要加以选择。
EMS 850WM大型室临界点干燥仪
EMS850WM是一个压缩的台上用仪器，设计用于临界点干燥一个完整的150mm/6"晶圆。一个便捷的晶圆保持器允
许快速转换，且保证预干燥不会发生。
1.170mm直径膛-化晶圆/MEMS干燥
2.垂直膛带顶部加载和底部排水，
保证样本在干燥过程中不会变成无盖。
3.热电加热-的温度控制
4.微调控制针阀压力降低-控制
5.用热断路器保护来进行温度监控
6.用安全断流器进行压力监测超压
7.三年保修
特 性
利用EMS4860再循环加热器/冷却器，EMS850WM已嵌入加热和水冷却功能。这确保
临界点准确获取，避免超压或超温，或需要依赖减压阀啦控制加热周期内的压力。
EMS850WM有一个垂直膛，允许样本顶部加载。一个观察口装在顶板用于样本观察。
样本交换机构易用且能保证样本在加载中保持在液体下。
样本处理
100mm 或150mm直径的晶圆放在一个特氟龙托盘中处理。含晶圆的托盘浸入到
丙酮中，从而去除样本的所有水分。脱水后，用晶圆传送装置将晶圆和支架转
到预冷的样品室。
临界点干燥过程结束时，深加工之前，晶圆会被用转移装置从样本室移除