中型深冷制氧机工艺说明；

    原料空气自大气吸入，经空气过滤器清除其机械杂质，然后通过空气透平压缩机增压至一定压力，经空气预冷机冷到8℃左右，经水分离器分离游离水进入分子筛纯化器，除去空气中二氧化碳与水份以及大多数碳氢化合物。

    再进入分馏塔系统，在主换热器中与返流气进行换热，经换热后的空气入精馏塔下部，参与精馏；在塔底部获得富氧液空，塔顶获得氮气。

    液空被引出经过冷器过冷后，节流入冷凝蒸发器作冷源，与塔中上升的氮气进行换热，液空被蒸发，氮气被冷凝，冷凝的液氮大部分作为分馏塔的回流液，参与精馏。小部分作产品进入贮液罐，再进入液氮贮槽。

    产品氮从塔顶部抽出后，入热交换器复热后排出塔外去氮压系统到用户；装置所需的冷量，由一组两台透平膨胀机提供。

    从主冷抽出的富氧空气经过冷器及主换热器下部复热到一定温度进入膨胀机膨胀制冷，再入主换热器与正流空气进行换热，空气被冷却；富氧空气复热后排出塔外，作纯化器再生气源，出来后与多余的一起到富氧增压系统去用户。

   分子筛纯化器由两只存满分子筛的容器组成，一只工作另一只再生，切换使用。