化工厂专用制氮设备纯度可达到99.6%（特出情况除外）流量可达到3000立方。深冷制氮装置流量可到到6000以上。碳分子筛的孔径分布特性使其能够实现O2、N2的动力学分离。这样的孔径分布可使不同的气体以不同的速率扩散至分子筛的微孔之中，而不会排斥混合气（空气）中的任何一种气体。碳分子筛对O2、N2的分离作用是基于这两种气体的动力学直径的微小差别，制氮机分子的动力学直径较小，因而在碳分子筛的微孔中有较快的扩散速率，，氮气分子的动力学直径较大，因而扩散速率较慢。制氮机压缩空气中的水和二氧化碳的扩散同氧相差不大，而氩扩散较慢。最终制氮机从吸附塔富集出来的是N2和Ar的混合气。