加工对象与环境 ? 精密加工和超精密加工都是以精密元件为加工对 象,加工时必须具有超稳定的加工环境。体环境 要求为:
? (1)恒温:保证加工区极高的热稳定性。
? (2)防震:保证加工系统具有较高的动态稳定性。
? (3)超净:必须有与加工相对应的超净工作环境。
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