>> 太阳能电池等离子刻蚀机产品特点
太阳能电池等离子刻蚀机用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用独特的高密度等离子(ICP)，刻蚀速率高，全进口配置组装。
>> 太阳能电池等离子刻蚀机技术参数
◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
1350(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 仓体结构(铝，约125升)
500(W)×500(D)×500(H)mm
◆ 旋转平台
Φ 400mm ，转速可调节
◆ 等离子发生器(美国)
频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)
前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80
二级泵/ 英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S)
美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器
台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件