>> GDR-100PR真空等离子清洗机产品特点 

   GDR-100PR真空等离子清洗机是立式中型机，触摸电脑+PLC多步流程全自动控制，全电路检测，GDR-100PR真空等离子清洗机用于BGA、COB、CSP、LED封装制程清洗有机物及氧化物，中批量生产机型。

>> GDR-100PR真空等离子清洗机技术参数

 ◆ 设备外形尺寸(不包括报警灯)

   650(W)×900(D)×1600(H)mm

 ◆ 不锈钢或合金铝真空仓体尺寸(约100升)

   420(W)×420(D)×570(H)mm

 ◆ 仓体结构

   9层铝合金放电电极,阳极氧化处理

 ◆ 等离子发生器(美国MKS)

   频率13.56MHZ,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

   PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

   日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN901 (23L/S)

   台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康压力传感器         

 ◆ 充气系统

  美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀