随着半导体器件的高密度化和大功率化,集成电路制造业的发展迫切需要研制一种绝缘性好导热快的新型基片材料。80年代中后期问世的高导热性氮化铝和碳化硅基板材料正逐步取代传统的氧化铝基板,在这一领域,我所研制成功的高热导氮化铝陶瓷热导率达到228 W/m×K,性能居国内外前列。氮化铝-玻璃复合材料,已成为当代电子封装材料领域的研究热点,其热导率是氧化铝-玻璃的5-10倍,烧结温度在1000°C以内,可与银、铜等布线材料共烧,从而制造出具有良好导热和电性能多层配线板,我所研制的氮化铝-玻璃复合材料,热导率达到10.8 W/m×K的,在国际上居于地位,很好地满足了大规模集成电路小型化、密集化的要求。
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