测量精密零件，如平面、圆柱等表面粗糙度(光洁度),也可以测量表面刻线、镀层深度等，利用附件还能测量微颗粒、加工纹路、或低反射率的表面，也能将仪器安置在大型工件上进行测量，是计量室和经典教学仪器之一。

● 不平深度测量范围：1～0.03μm (光洁度▽10～▽14)

● 放大倍数：500×,分划值0.01mm,测微目镜分划0.1mm.

● 绿色干涉滤光片：波长λ≈5300à,半宽度▽λ≈100à.

● 标准镜：高反射率≈60%,低反射率≈4%.

● 选配：摄影摄像与图像处理系统,图像分析软件.