多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有极高的度和准确度。
多角度激光椭偏仪 -
产品特点
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可以测量单晶电池片、多晶电池片
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可以测量抛光片，度和准确度极高
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可以测量粗糙表面的“绒片”
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适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
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可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
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配置有高稳定度补偿器，提供最小的漂移值和最小的测量误差
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配置有高精度的自动光学对准显微镜
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可进行20°－90°范围内的多角度测量
多角度激光椭偏仪 -
测量特点
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非破环性检测
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样品准直简单方便
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测量速度快
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可变入射角范围宽
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测量
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软件分析功能强
多角度激光椭偏仪 -
技术指标
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光源：He-Ne激光器
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光斑直径：1-2mm
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入射角范围：20°到90°,5°/步
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精度：0.002°~ 0.02°
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膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on
Si
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折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on
Si
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激光光斑：直径1mm
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激光波长632.8 nm
多角度激光椭偏仪 -
典型客户
美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。
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