而日本早在80年代末，就把超精密切削加工技术和微加工技术作为国家重点发展项目。到了90年代中期，进入大规模研发，93年已研发出精度控制在1nm的多轴加工装置。随着光学与IT技术的结合及光电技术的发展，对光学元件加工要求越来越高，更进一步推动了精密切削加工技术的发展。近年来，日本推出了更高精度的纳米加工机床及专用加工机床、加工中心等，如日本Sodick公司的高精度Ultra NANO 100，定位精度达到0.5nm，形状精度为2-3nm。如日本不二越公司制造的NANO ASPHER，则是专用于加工高精度透镜模具，透镜用于锐的DVD及手机等。
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