上海现代先进超精密制造中心有限公司不久前与美国QED Technologies公司签订协议,引进一台具有世界先进水平的Q22系列磁流变精密抛光系统。该系统可以加工平面、球面、非球面以及自由曲面。其面形加工精度可达1/20波长(1波长= 632.8纳米),表面RMS粗糙度可达0.3 纳米,加工光学元件的口径可达1米。明年在成功引入后,本公司将成为亚洲地区一家拥有1米级口径埃米级精度磁流变加工平台的光学制造单位。
磁流变加工是利用一种特殊的磁性液体(磁流变液)在外加磁场作用下,其粘滞系数等物理特性随磁场强度发生变化的特性,形成一个柔性的液体抛光头,用来对待加工的光学表面进行逐点加工。与常规光学加工相比,磁流变加工为确定性(deterministic)加工,并且其具有材料去除效率高、可加工任意形状的表面、不生产亚表面损伤等一系列优点,可用于超大口径高面型精度、超光滑表面光学元件的加工。
该设备的引进无疑将极大地提升本公司在大口径精密光学,特别是非球面和自由曲面方面的加工能力。
数控磁流变抛光技术是一项广泛应用于精密/超精密加工领域的先进光学加工方法,其原理是借助以磁性颗粒、基液、表面活性剂为基体,加入抛光粉, 混合均匀制成的磁流变抛光液在可控磁场作用下,形成粘度可控的磁流体,实现被加工工件表面材料的有效高精度去除。
利用磁流变技术加工,有以下优点:
1) 能够获得埃米级的光学表面。
2) 易于实现计算机控制,能够得到包括自由曲面在内的复杂面形。
3) 去除效率高。
4) 不会存在刀具磨损、堵塞现象。
5) 磁流变抛光以其独特的剪切去除机理在保证较高去除效率的同时不引入亚表面损伤,可以高效消除磨削产生的亚表面损伤层,实现近零亚表面损伤和纳米级精度抛光。
6) “抛光头”不会变钝或变形,流动液体实时适合零件复杂面形的变化而变化,加工效率高等。
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