高可靠性和精度的流量控制器
快速的响应时间
金属密封.
压电控制阀.
316L不锈钢材质.
5 ccm-100 slm流量
技术规格:
Model
SEC-4400
SEC-4500
SEC-4550
SEC-4600
Standard Flow Range(N2 Eq.)
5 sccm ~ 8 slm
10 ~ 30 slm
31 ~ 50 slm
51 ~ 100 slm
Wetted Materials
M (metal) -Type: SUS-316L-R (viton) type
Valve Piezo Valve
(Normal Close or Normal Open)
Flow Control Range
2 ~ 100% F.S.
Accuracy
± 1% F.S.
Response
<1.0sec. (500ms typical)
Linearity
± 0.5% F.S.
Repeatability
± 0.2% F.S.
Operating Pressure
14 ~ 42 psi
21 ~ 42 psi
Leak Integrity
M-Type: 5x10 -10 Pa·m 3/s(He) or less
Operating Temperature
5 ~ 50 °C (Accuracy guaranteed 15 ~ 35 °C)
Flow Rate Setting Signal
0.1 ~ 5VDC
Flow Rate Output Signal
0 ~ 5VDC
Power Supply
± 15VDC ± 5% 60mA
Standard Fitting
1/4” VCR, 1/4” Swagelok
3/8”VCR,3/8”Swagelok
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