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利用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行的精整加工（见切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后进行，其加工余量仅几微米，适于加工曲轴、轧辊、轴承环和各种精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。
编辑本段特点
　　① 超精加工是利用装在振动头上的细磨粒油石对工件进行微量切削的一种磨料精密加工方法。

 　　② 超精加工主要是减小Ra值，可达0.2～0.012μm ，可适当提高形状精度。

 　　③ 超精加工生产率很高，常用于加工曲轴、轧辊、轴承环和某些精密零件的外圆、内圆、平面、沟道表面和球面等。
编辑本段加工方法
加工方法
　　图为外圆超精加工的方法。在充分的冷却润滑条件下，安装在振动头上的细粒度油石以压
超精加工的方法(2张)力p（一般取0.05～0.3兆帕）与工件接触，并作振幅为A（一般取1～6毫米）、频率为f（一般取5～50赫）的纵向振动;工件作转速为nW的旋转运动(圆周速度vW一般不超过700米/分，可达1000米/分)。因此，油石上的磨粒相对于工件表面的综合运动轨迹为一正弦曲线，这有利于磨粒保持锋利的切削刃和有效地消除工件表面的形状误差。如工件表面比油石长，则油石或工件还应有速度为vf的纵向进给运动。