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 激光束聚焦成很小的光点其最小直径（可小于0.1mm），使焦点处达到很高的功率密度（可超过106W／cm2）。这时光束输入（由光能转换）的热量远远超过被材料反射、传导或扩散部分，材料很快加热至汽化温度，蒸发形成孔洞。随着光束与材料相对线性移动，使孔洞连续形成宽度很窄（如0.1mm左右）的切缝。切边热影响很小，基本没有工件变形。