100级洁净标准:采用HEPA过滤系统与正压环境设计,确保腔体内颗粒物浓度≤3.5颗/升,满足半导体、光学镜片等超净生产需求。
智能温控系统:PID算法配合多点红外测温,实现±0.5℃的精准控温,50-300℃区间可设置20组程序曲线,支持骤升骤降工艺。
热穿透技术:3D环绕式石英加热管布局,配合强制对流风机,使10mm厚度玻璃基板在8分钟内达到均匀干燥状态。
能耗优化结构:双层Low-E镀膜视窗减少30%热损耗,余热回收装置使连续工作时能耗降低至传统烘箱的60%。
物联网功能:支持4G/5G远程监控,实时上传温度曲线、报警记录等数据,可与MES系统直接对接。
模块化清洁设计:所有内壁采用316L不锈钢一体成型,可快速拆卸的风机模块配备超声波自清洁接口。
安全防护体系:三重门锁联动装置+温度熔断器,通过CE/UL双重认证,异常情况下0.2秒切断电源。