HMDS烘箱是一种专门为半导体制造工艺设计的烘箱，主要用于硅片的表面处理。HMDS是一种有机硅化合物，可以在硅片表面形成保护膜，保护硅片表面不受污染和氧化。HMDS烘箱主要用于烘干经过HMDS处理后的硅片表面，使HMDS分子在硅片表面形成均匀的保护膜。

HMDS烘箱通常采用高温干燥方式，温度通常在100℃以上，并可根据具体制造工艺和要求进行调整。烘箱内部通常采用不锈钢制成，密封性能好，耐高温。同时烘箱内部还设有温度控制系统、气流控制系统等，保证干燥过程的稳定可靠。

HMDS烘箱在半导体制造过程中发挥着重要作用。它们可以保护硅片表面不受污染和氧化，从而提高硅片的质量和稳定性。同时，HMDS烘箱还可以提高制造效率和一致性，从而降低制造成本，提高生产效率。