炉子(单晶炉的构成/常州单晶炉的价格)本体包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。机架由底座、上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置安装在底座内的平台上,主炉室(由炉底板、炉底、炉筒和炉盖组成)安装在底座的上平面上,上面与翻板阀密封联结,副室放在翻板阀上,提拉头安装在副室上,坩埚驱动装置与炉室通过波纹管密封联结,液压系统中提升油缸安装在下立柱上。液压泵放在主机附近的适当位置,真空系统、水冷系统固定在机架上,主炉室是炉子的心脏部位,热场系统安装在内。 另外还有电气部分,控制柜、加热系统等。
单晶炉的构成 单晶炉的构成/常州单晶炉的价格 提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成 ? 副室:主要是副室筒以及上下法兰组成 ? 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成 ? 炉筒:包括取光孔 ? 下炉筒:包括抽真空管道 ? 底座机架:全铸铁机架和底座 ? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成 ? 分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等 ? 氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件 ? 真空泵已经真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等 ? 电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线单晶炉的构成/常州单晶炉的价格
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