常州市天龙光电设备有限公司
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单晶硅生长炉的特点
发布日期:2011-10-26

 HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。
  全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径单晶硅生长炉的特点信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉单晶硅生长炉的特点内温度单晶硅生长炉的特点或加热功率控制方式可选,保单晶硅生长炉的特点证控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶单晶硅生长炉的特点阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服单晶硅生长炉的特点电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。
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  特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。
 

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