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企业新闻
单晶硅生长炉
发布日期:2011-10-26

首先,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,单晶硅生长炉对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3~5mm的单晶硅生长炉细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程就是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~单晶硅生长炉300mm,这个过程称为放肩;接着单晶硅生长炉,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直单晶硅生长炉径规格大小Czochralski)方法。单晶硅生长炉此法早在1917年由单晶硅生长炉切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备单晶硅生长炉电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产单晶硅生长炉量中7单晶硅生长炉0%~80%是用直拉法生产的。
 

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