MEMS组合传感器在单一的传感器封装中含有加速计、陀螺仪或电子罗盘的不同组合。这类传感器的销售额到2015年将接近12亿美元，而2010年略低于2400万美元，2010-2015年的复合年度增长率高达120%。预计今年增长率将达到三位数，而且这种趋势将保持到2013年，凸显这类传感器在汽车与消费电子领域的商机巨大。例如，2011年销售额预计将达到7090万美元，比2010年的2360万美元大增200%，其中消费应用将占到4810万美元，汽车应用占2280万美元。

组合传感器通过在单一封装中整合更多功能，可以节省空间与成本。这种MEMS传感器在以下情况下非常有用：价格压力较大和电路板空间有限，如手机；由于强制要求采用某些技术，成本成为关键因素，这种情况在汽车领域常见。

未来几年，消费领域将在组合传感器销售额中继续占有较大份额，其销售额到2015年将增长到10亿美元，汽车领域是1.318亿美元，如图所示。

对于汽车领域来说，由于政府强制采用的各种安全系统成为汽车的标准设备，汽车厂商面临降低成本的压力，促使其寻求采用更小、更有效率和生产成本较低的组合传感器。

根据封装中所含的器件的不同，组合传感器的配置可以有不同变化。例如，在消费领域，一个6DOF(6自由度)罗盘模组通常包含一个三轴加速计外加一个3轴罗盘；在使用惯性传感器的时候，该器件就被称为惯性传感器测量单元(IMU)。相比之下，一个9DOF由一个3轴罗盘、3轴陀螺仪和3轴加速计组成；而一个10DOF则包含9DOF中的所有器件，外加一个压力传感器用于测量高度。同时，4DOF至6DOF的组合传感器正在汽车领域出现，主要是不带罗盘的惯性IMU。

目前供应组合传感器的厂商包括德国博世，主要供其稳定控制系统使用；芬兰VTI Technologies，用于德国厂商Continental AG的稳定制造系统。