术指标
流量范围 N2换算
F.S.10SCCM-2SLM；F.S.3-50SLM
精度
±2.0%F.S.以内；±5%F.S.以内
再现性
±0.5%F.S.以内
耐压
980kPa
使用温度
5℃-45℃（精度保证：15-35℃）
连接气体部分材料
外壳：SUS303，PTFE
封条：Viton
接头
标准：1/4SWL
流量输出信号
0-5VDC
需求电源供给
+15VDC（±5%）40mA,-15VDC（±5%）10mA
重量
250g；350g
选型表
订购范例
3810S
1/4
N2
100SCCM
3810S-1/4SWL-N2-100SCCM
型号
连接方式
标准：1/4：Rc1/4
介质
N2：以N2换算
流量
见表格
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