S4RG1系列高纯气体减压阀
应用范围:
高纯气体、半导体,微电子行业
特征:
一次减压
表面光洁度为0.13μm
隔膜金属密封
长使用寿命
BA或EP等级
316L VIM/VAR阀体
Hastelloy C-22膜片
多种压力表接口选择
多种接口形式选择
规格:
进口压力:3500psig或600psig
出口压力:-30-160psig,-30-200psig,-30-300psig
工作温度范围:
PCTFE: -40oC至60oC
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