特气柜（Gas Cabinet），阀门箱（VMB），阀门盘（VMP），
主要应用于：半导体，太阳能电池，微电子等需要超纯洁净气体的行业。
主用用于为PECVD，MOCVD等设备提供洁净，安全的气体。
详细图纸和资料请联系供应商。
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