半透明石英坩埚特点：高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定应用：半导体用拉制大直径单晶硅，大规模集成电路中的基础材料。
Type型号
Al
Fe
Ca
Cu
K
Na
Li
B
OH
DHS
20
1.5
0.1
3
0.3
30
DHS—A
15
0.6
0.05
0.7
1.0
<0.1
DHS—B
8
0.2
0.02
0.9
<0.05
规格尺寸
Crucible size
Qutside dia
Height
Thickness厚度
R*
r﹡
坩埚尺寸
外径D
高度H
t1
t2
t3
8”
203+03
153+3
5.5+1.5
8.5
305
10”
254+2
178+3
6.0+1.5
3.5
9
70
12”
305+2
228+3
6.5+1.5
4
9.5
80
14”
355+2
254+3
7.5+1.5
5
10.5
400
90
16”
404+2
305+3
8.5+1.5
6
11.5
18”
457+2
355+3
500
120
20”
508+4
381+3
10+3
11.0
22”
558+4.5
7
558
89
24”
610+4.5
11+2
7+1
610
DHS标准纯度DHS-A高纯度、半导体级DHS-B等高度、低碱、低铝、低硼、半导体级
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